腾旋公司的半导体行业专用旋转接头又叫水/气滑环接头，在半导体工业、化学机械抛光机CMP、晶圆等制造领域广泛应用；用于输送研磨液、水、冷却液、研磨残渣液、压缩空气等流体。采用特种材质的机械密封方案，具有密封性好、寿命长、扭矩低、发热量低、耐粉尘残渣等特点，确保客户主机可靠性高，减少检修频次。
半导体行业M系列旋转接头
两通路旋转接头
型号：ML02R008F
参数：
转速：250rpm
介质：水 ，0.5MPa
扭矩：＜2N·m
温升：30℃
流量：暂定
8通路旋转接头
型号：ML08R003F
参数：
转速：200rpm
介质：真空 ，0.5bar
氮气 ，1.4bar
空气 ，1.4bar
扭矩：＜3N·m
温升：30℃
泄漏量：＜1KPa/min
1999年腾旋从无到有，2009开始不断提升制造能力，拥有了400多台全球先进的加工设备，2019年开始大幅度提高试验测试能力，目前己拥有30多台测试设备，我们一直在路上。
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