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电子级纯六氟化硫是一种理想的电子腐蚀剂，广泛应用于微电子技术。制冷工业作为冷却剂，冷却范围在-45°c至0°c之间。利用其高介电强度和良好的电弧性能，电气工业将其用作高压开关、大容量变压器、高压电缆和气体的绝缘材料。在矿井中，它被用作抗吸附剂来代替煤尘中的氧气。由于其化学惰性、无毒、不易燃、无腐蚀等特性，被广泛应用于冶金(保护气体如镁合金熔炼炉)、航空航天、医疗(x光机等)、激光机上使用)、气象(示踪分析)、化工(先进汽车轮胎、新型灭火器)等领域。随着当今科技的发展，SF6的应用领域越来越广泛，在更多的基础和技术领域得到了广泛的应用。在电器设备中，介质使用的必要条件之一是介质的化学惰性。也就是说，介质不能与设备使用的材料发生化学反应。在正常条件下，纯六氟化硫可以满足这个条件。
