成都超迈供货 刻蚀机 按需定制生产 支持国标

  • 发布时间:2024-08-15 17:53:43,加入时间:2024年04月09日(距今156天)
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刻蚀机是一种用于制造微细结构的设备,‌常见于半导体、‌光学和电子工业中。‌它通过将化学反应物和物理能量相结合,‌去除材料表面的一部分,‌从而创建所需的微细结构。‌刻蚀机在芯片制造过程中扮演着关键角色,‌与光刻机紧密相连,‌共同完成电路图的刻画和形成。‌刻蚀机的技术包括湿法刻蚀和干法刻蚀两种主要类型。‌

湿法刻蚀主要利用化学溶液通过化学反应达到刻蚀的目的,‌这种方法各向异性较差,‌侧壁容易产生横向刻蚀,‌造成刻蚀偏差,‌通常用于工艺尺寸较大的应用或作为干法刻蚀后清洗残留物。‌

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