镀膜机是一种用于在物体表面覆盖一层薄膜的技术设备,广泛应用于物理学、化学、机械工程等多个领域。镀膜机通过在真空条件下,采用等离子技术或其他方法,制备出纯度高的金属膜、化合物膜等,适用于半导体、显示、光伏、工具镀膜、装饰镀膜、功能镀膜等多种应用。
镀膜机的主要工作原理包括蒸发镀膜和溅射镀膜两种方式。在蒸发镀膜过程中,通过加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。而在溅射镀膜过程中,利用电子或高能激光轰击靶材,使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并最终沉积在基片表面,形成薄膜。
镀膜机的应用范围非常广泛,包括但不限于:
物理学和化学领域:用于工艺试验,制备有机材料和金属材料的薄膜。 机械工程领域:用于制备高熔点氧化物、金属材料薄膜,以及在光学仪器的宽带减反射膜、激光硬膜反射镜等方面的应用。 其他领域:还包括显示技术、半导体制造、光伏技术等,以及工具镀膜、装饰镀膜和功能镀膜等方面。