ADTEC射频电源维修AX-2000III；等离子电源维修；镀膜电源维修AX-600III
射频电源设备维修包括：刻蚀，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等系统，CPSΜ射频电源匹配器及RF射频电源发生器维修。
应用范围：主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜，半导体薄膜、离子注入、刻蚀，平板显示，光盘、光电子LED等制造工艺以及科研院校、研究所等设备的高压、直流、射频电源。主要包括高压电源HV PSU、射频电源RFG、匹配网络RF Match、直流电源DC POWER、微波发生器等，提供设备维护维修保养整包、批量产品维修。
RF MATCH射频匹配器维修范围有ADVANCED射频电源匹配器；ASTEX射频电源匹配器；NP射频电源匹配器；ASTECH射频电源匹配器；SEREN射频电源匹配器；射频电源匹配器；KYOSAN射频电源匹配器；ENI射频电源匹配器；DAIHEN射频电源匹配器；射频电源匹配器；TRAZAR射频电源匹配器维修等
主营业务：提供维修服务
一、维修真空溅射镀膜设备、等离子清洗设备、真空贴合机、设备上的电控部件:射频电源、射频器、靶材电源、高压电源、微波电源、磁控溅射电源、中频电源、高频电源、远程等离子体源、霍尔离子源、脉冲电源、直流电源、氧化源电源、特种电源、匹配器、膜厚仪等。
