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PFA清洗花篮4寸6寸耐强酸晶圆盒运输硅片

  • 发布时间:2023-12-07 10:44:32,加入时间:2019年08月15日(距今1918天)
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它主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。PFA花篮,进入化学酸、碱蚀刻制程中,可搭配PFA把手使用。

名称

规格

耐温性

应用

PFA花篮

PP Cassette

2寸

-200~260℃

酸碱传输制程

特点:

1.耐腐蚀:耐受强酸强碱

2.防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb

3.低的溶出和析出,确保晶圆芯片无污染

PFA清洗花篮4寸6寸耐强酸晶圆盒运输硅片

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