吉致电子JEEZ碳化硅抛光垫 复合无纺布抛光垫

产品名称：无纺布抛光垫/碳化硅sic抛光垫/suba800替代

产品特点：吉致抛光垫满足低、中及高硬度材料抛光需求，针对碳化硅sic抛光的4道工艺制程搭配不同型号抛光垫（粗磨垫/精磨垫/粗抛垫/精抛垫）具有高移除率、高平坦性、低缺陷等优点。

产品工艺及用途：特殊纤维结构的抛光材料，适用于碳化硅sic/再生晶圆/各类三五族或二六族等晶圆，如蓝宝石、氮化铝等抛光，也适用于各类衬底、窗口片或玻璃片的高平坦效果。

可定制化：标准槽深为抛光垫厚度1/2，可以按客户不同开槽要求定制