TO催化燃烧设备先通过除尘阻火系统。然后进入换热器，再送到加热室，使气体达到燃烧反应温度，再通过催化床的作用，使废气成二氧化碳和水，再进入换热器与低温气体进行热交换，使进入的气体温度升高达到反应温度。如达不到反应温度，加热系统科通过自控系统实现补偿加热。利用催化剂做中间体，使气体在较低的温度下，变成水和二氧化碳气体。
在催化燃烧过程中，催化剂往往会因高温、振动和气流等因素的作用，使催化剂产生破裂和磨损，破裂和磨损会造成催化剂的降低，增加催化剂床层的压降，影响净化效果。
由于物催化燃烧的催化剂分为贵金属(以铂、钯为主)和金属催化剂。贵金属为组分的催化剂分为全金属催化剂和以氧化铝为载体的催化剂。全金属催化剂是以镍或镍铬合金为载体，将载体做成带、片、丸、丝等形状，采用化学镀或电镀的方法，将铂、钯等贵金属沉积其上，然后做成便于装卸的催化剂构件。
废气是石油化工、轻工、塑料、印刷、涂料等行业排放的常见污染物，废气中常含有烃类化合物（芳烃、烷烃、烯烃）、含氧化合物（醇、、酸等）、含氮、硫、卤素及含磷化合物等。如对这些废气不加处理，直接排入大气将会对环境造成严重污染，危害人体健康。传统的废气净化方法包括吸附法、冷凝法和直接燃烧法等，这些方法常有易产生二次污
