三坐标光学测量机由三个相互垂直的测量轴和各自的长度测量系统组成机械主体，结合测头系统，控制系统，数据采集与计算机系统等构成坐标测量系统的主要系统元件，测量时把被测件置于测量机的测量空间中，通过机器运动系统带动传感器即测头实现对测量空间内任意位置的被测点的瞄准，当瞄准实现时测头即发出读数信号，通过测量系统就可以得到被测点的几何坐标值，根据这些点的空间坐标值，经过数学运算求出待测的几何尺寸和相互位置关系。
中图仪器Mars系列高精度三坐标测量机是移动桥式的三坐标测量机。支持触发、扫描和非接触式探测系统。能够对各种零件和部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测，也可以对软材质或复杂零件进行光学扫描测量。
测头部分
1.Pantec 测座
Pantec eagle head M7.5M8全自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆，具有高重复性以及机械式自动连接功能。
2.Pantec测头
Pantec eagle mp touch SF是5方向或6方向操作的触发式测头。由测头本体和可分离测头吸盘组成，可以手动或自动改变测针的配置而不需要重新定位测针，在检测时，可节省很多时间。
结构特点
1、移动桥式结构提高运动性能，确保测量精度及稳定性。
2、导轨采用高精密天然花岗岩，具有相同的温度特性及刚性。
3、高精度三坐标测量机采用自洁式预载荷高精度空气轴承的三轴导轨结构特点，运动更平稳，更耐磨损。
4、光栅尺接近花岗岩基本的热膨胀系数，提高了设备的稳定性。
Mars系列高精度三坐标测量机采用自主研发的设计与测量系统，提供了测量机的高精度性能，测量行程500*700*500mm延伸到900*1200*600mm，结合多样化配置，可满足不同的测量需求。
应用领域
用于机械制造、汽车、航天航空、船舶重工、军工、风电、新能源等大型零件的测量；3C、工具原形等中小型零件的测量。涵盖箱体、机架、齿轮，凸轮、涡轮，蜗杆、叶片的曲线、曲面的测量，可对工件的尺寸、形状和形位公差进行精密检测，完成过程控制，质量控制，逆向成型等任务。
