不同类型的热式气体质量流量控制器主要是指能够结合气体质量流量计，通过PID程序，自动设置和调节阀门开度和大小的一种控制阀门。流量控制阀可作为质量流量控制器的集成部分或作为单独部件与流量计或其他气路装置组合使用，以达到流量设定值。
质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
