UV光解光氧设备：采用波长低于280nm，一般采用185nm的UV紫外光源进行废气处理。其主要原理是利用中短波紫外线光子所携带的能量较强。315nm~280nm的中波紫外，能量强度为3.94eV~4.43eV；280nm~100nm的短波紫外，能量强度为4.43eV~12.4eV，通过紫外线的光子轰击有机物的分子链，实现分子链的断裂，断裂的有机物成分与氧气、臭氧等反应，生成产物为CO2和H2O等无害物质。
UV光催化氧化除臭设备：采用光催化剂，利用催化剂在紫外光(一般是波长在365nm以下的光源)的照射下，产生电子空穴。电子空虚分解催化剂表面吸附的水产生羟基自由基，或使其周围的氧还原成活性离子氧，从而具备极强的氧化还原能力，将光催化剂表面的各种污染物分解。光催化氧化技术采用的光源波长较长、可散射的距离远，覆盖的有效净化区域空间大，但光催化剂易中毒而失效。
