工业蒸馏水可分一次和多次蒸馏水。水经过一次蒸馏，不挥发的组分（盐类）残留在容器中被除去，挥发的组分（氨、二氧化碳、有机物）进入蒸馏水的初始馏分中，通常只收集馏分的中间部分，约占60％。要得到更纯的水，可在一次蒸馏水中加入碱性高锰酸钾溶液，除去有机物和二氧化碳；加入非挥发性的酸（硫酸或磷酸），使氨成为不挥发的铵盐。由于玻璃中含有少量能溶于水的组分，因此进行二次或多次蒸馏时，要使用石英蒸馏器皿，才能得到很纯的水，所得纯水应保存在石英或银制容器内。
工业蒸馏水标准 :
1 灼烧渣含量 （≤0.01 %）
2 锰（Mn）含量 （≤0.00001%）
3 铁（Fe）含量 （≤0.0004 %）
4 氯（Cl） （≤0.0005 %）
5 还原高锰酸钾物质（O）含量 （≤0.0002 %）
6 透明度 （mm） 无色透明
7 电阻率（25℃） （≥10x104 Ωcm）
8 硝酸及亚硝酸盐（以N计） （ ≤0.0003 %）
9 铵（NH4）含量 （≤0.0008 %）
10 碱土金属氧化物（CaO计） （≤0.005 %）
蒸馏水的优点:
蒸馏水的制作是把源水煮沸后令其蒸发冷凝回收，要大量耗费热能，造价不会太低，用于制作蒸馏水的源水中的其它遇热蒸发物质，也就随着蒸馏水的生成而冷凝到蒸馏水中，如对健康有害的酚类、苯化合物，甚至可蒸发的汞等。要想得到纯净水或超纯水，必须经过二次、三次的蒸馏还得增加其它纯净手段。
不过市场供饮用的蒸馏水不大可能这么做，也没有必要这么做。
同时，常饮蒸馏水就等于放弃了从水中获得人体所需的微量元素的5％的来源。
