一、螺杆真空泵清洗吹扫
清洗吹扫对于抽除腐蚀、有毒或是粘稠物，例如树脂类介质尤为重要。
清洗吹扫一般在停泵前关闭真空泵的进气口阀门，并在进气口充入氮气或水蒸气后运转20～30分钟，对腔体内螺杆进行吹扫，清洗腔体内残留的工艺气体或表面粘附的粘稠物质。
二、螺杆真空泵冷却吹扫
冷却吹扫用于螺杆转子及真空泵内部腔体的冷却。
真空泵工作时进气口吸入的工艺气体随着螺杆转子的转动被压缩并送到排气口，压缩过程中气体温度升高，这就需要用冷却吹扫来保护真空泵不会因为过热而被卡住。
通常空气会被用来作为冷却吹扫介质，但在特殊情况下则用氮气或冷却后的工艺气体作为吹扫介质。在排气口附近安装有一个过滤器来吸入空气以实现冷却吹扫。
三、螺杆真空泵密封吹扫
密封吹扫是用氮气加压于前端盖内，使得工艺气体或液体不能进入装有齿轮及轴承的油箱。氮气接入口有2个，位于前端盖的顶端。氮气吹扫的压力≤0.5bar。
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