高精度的气体流量调校装置:采用全新传感生产工艺的高精度热式气体质量流量控制器等高品质的国产或进口的组件,结合工控液晶触摸屏幕,图形化视图,让系统运行更稳定、操作更简便;流量控制部分采用PID闭环控制技术,响应速度快,流量控制稳定、精准;系统中管路接触部分的材质全部为BA级316L不锈钢,无易损件,经久耐用,后期设备维护成本极低。
气体质量流量控制器的重复性和线性指标均可与国内外高品质的产品媲美,良好的重复性和线性能更好的保证每次配气的精准度和重复性;设备无需预热时间,开机即可配气,随配随用,配比好的混合气体可以携带到异地或是本地使用。