光纤器件无尘车间空气净化系统要求:
光单元生产车间温度宜保持在15度~28度,相对湿度宜保持在40%~70%。
光栅光刻车间洁净度不应低于7级,平面波导型光纤耦合器耦合车间洁净度不应低于8级,其他光单元生产车间应为清洁厂房。
生产厂房洁净区空气洁净等级应根据生产环境要求确定。
空气净化系统宜采用上送测回或上送上回的送回风方式。
生产中产生有害气体的工艺或设备应设局部排风或净化装置。
光纤器件无尘车间空气净化系统要求:
光单元生产车间温度宜保持在15度~28度,相对湿度宜保持在40%~70%。
光栅光刻车间洁净度不应低于7级,平面波导型光纤耦合器耦合车间洁净度不应低于8级,其他光单元生产车间应为清洁厂房。
生产厂房洁净区空气洁净等级应根据生产环境要求确定。
空气净化系统宜采用上送测回或上送上回的送回风方式。
生产中产生有害气体的工艺或设备应设局部排风或净化装置。
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