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其净化作用机理包含两个方面：一、在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能量能够打开某些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子。二、等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，在电场作用下，废气分子处于激发态，当废气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，废气分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3，能与有害气体分子发生化学反应，最后生成无害产物。
低温等离子体技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性技术，是目前国内外大气污染治理中最富有前景、最行之有效的技术方法之一，该技术显著特点是对污染物兼具物理作用、化学作用和生物作用
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