一.产品简介
SJ6000产品采用高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。
二.性能特点
1.测量精度高、速度快，稳定性好
使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)
以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级
使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。
配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度
分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析
可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析
3 软件界面友好
使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。
将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。
向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价
三.产品参数
系统性能
² 测量方式：单频
² 稳频精度：0.05ppm
² 动态采集频率：50 kHz
² 预热时间：5-10分钟
² 工作温度范围：0~40℃
² 环境温度范围：0~40℃
² 存储温度范围：-20℃~70℃
环境补偿示值误差
² 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空气湿度传感器：±6% (0-95%)
² 大气压力传感器：±1mBar (mbar)
线性测量
² 测量距离：0-40m
² 测量精度：0.5ppm (0-40℃)
² 测量分辨率：1nm
² 测量*大速度：4m/sec
角度测量
² 轴向量程：0-15m
² 测量范围：±10°
² 测量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
² 测量分辨率：0.1μm/m
直线度测量
² 轴向量程：0.1-4.0 m
² 测量范围：±2.5 mm
² 测量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M为光学镜移动距离，单位：m）
² 测量分辨率：0.01μm
垂直度测量
² 测量范围：±3/M mm/m
² 测量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
² 测量分辨率：0.01μm/m
平面度测量
² 轴向量程：0-15 m
² 测量范围：±1.5 mm
² 测量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
² 测量分辨率：0.1μm
回转轴分度精度测量
² 角度测量范围：0-360°
² 精密转台角度增量：5°
² 精密转台分度精度：±1秒
² 精密转台重复性：0.2秒
