激光干涉仪原理

  • 发布时间:2023-01-12 09:53:35,加入时间:2015年11月17日(距今3324天)
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性能特点

1.测量精度高、速度快,稳定性好

使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)

以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级

使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。

配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度

分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析

可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析

3 软件界面友好

使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。


将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。


向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价

产品功能

1.激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具。检定时可按照规定标准处理测量数据并打印出误差曲线,为机床的修正提供可靠依据。

2.激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、 平行度、垂直度等形位误差,在现场使用尤为方便。

3.激光干涉仪可方便地安装在测长机上,取代原测长机的坐标系统,作为一般计量室中的长度基准。

4.激光干涉仪又是一种高精度的位移传感器,可直接安装于坐标镗、螺丝磨等精密机床及坐标测量机上作为坐标系统,使定位精度大为提高。

5.激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能,仪器可按预定的间距自动完成检测和刻划工作。

6.激光干涉仪与圆分度器结合使用是一套高精度长度—角度比相计,可作为机床传动链,丝杆螺旋线等误差的测量系统。

激光干涉仪原理

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