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概述:
1. 中多晶硅铸锭炉是多晶硅制造的关键设备,其工艺流程的稳定性,设备控制的稳定性和先进性直接关系到是否能生产出合格的硅锭,而合格的硅锭又直接决定了硅片制成的电池的光电转换效率。
2. 多晶硅铸锭一般工程应用广泛采用交流感应加热溶化方式,主要原因是通过交流扰动搅拌方式,不断打断晶粒的生长,使晶微小成多晶状态,晶粒细化。中频炉磁场对熔化的原料有电磁扰动的效应,有利于成分的均匀和浮渣,所以目前多晶硅铸锭炉的电源一般均采用中频电源熔炼方式。
3. 中频真空感应熔炼和单向凝固技术,具有制备较大重量的方形多晶硅锭的能力。
⑴、中频熔炼炉的组成:
中频电源柜、补偿电容、炉体和水冷电缆、减速机等。
⑵、在电力系统中,经统计分析,中频电源是数量的谐波源。
6脉冲中频电源:主要特征谐波为5、7、11、13次等。
12脉冲中频电源:主要特征谐波为11、13、23、25、次等。
一般情况下,小型中频电源采用6脉冲。
较大型中频电源采用12脉冲。
4. 中频熔炼炉在工作时主要分为三个阶段:
⑴、加热升温阶段;此时工作电流大,谐波量高,功率因数可达0.70.8左右。
⑵、熔化阶段;此时工作情况与加热升温阶段相似,处于大电流,此时处于高谐波含量状态,功率因数可达0.750.82左右。
⑶、保温出炉阶段;此时工作电流小,(因炉温已达到居里线位置,故继续加大电流无意义),谐波含量较低,功率因数较低。
5. 多晶熔炼炉多采用HZ中频电源进行加热,其功率范围为202500KW。
6. 多晶硅铸锭炉的中频电源在工作过程中多产生大量谐波,导致电网中的谐波污染非常严重。谐波使电能传输和利用的效率降低,使电气设备过热,产生振动和噪音,并使其绝缘设备加速老化,使用寿命降低,甚至发生故障和烧毁,对于自身为自动化控制的影响不可忽视,会使安全系数降低,产品质量下降,谐波还会引起自动化装置误动作,使电能计量增加。