碳化硅十二寸晶圆硅片光纤不锈钢合金材料抛光液研磨液

  • 发布时间:2024-12-05 11:02:01,加入时间:2024年10月18日(距今65天)
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晶圆抛光液KND-LP30是一种水溶性抛光剂,主要由磨料、PH值调节剂、氧化剂、分散剂和表面活性剂等多种化学成分组成。这些成分在抛光过程中共同作用于晶圆表面,实现研磨、腐蚀溶解等效果,从而达到抛光的目的。

晶圆抛光液KND-LP30的工作原理

晶圆抛光液在CMP工艺中起到关键作用。它通过与晶圆表面产生化学反应,形成一层结合力弱的氧化膜,有利于后续机械去除。在氧化剂的氧化腐蚀与磨料研磨的共同作用下,晶圆表面可达到高质量全局平坦化效果。

晶圆抛光液KND-LP30的优点

抛光效果好:能够去除金属表面的粗糙部分,提高表面光洁度,使金属表面呈现自然光泽。

防腐蚀性强:在金属表面形成一层具有保护作用的金属氧化物层,大大减少了金属的腐蚀情况。

增加耐磨性:使金属表面变得更加光滑,从而提高金属表面的耐磨性和润滑能力。

碳化硅十二寸晶圆硅片光纤不锈钢合金材料抛光液研磨液

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