特長
ゴム薄膜（ダイアフラム）往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。用途
吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。 分析機器、理化学機器。 半導体検査装置。 デバイス組立。 自動機、包装機。商品スペック
| 仕様・規格 | 一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く) 低速低圧用 排気速度(L/min)50/60Hz：6/7 到達圧力(Pa)：6.65×10（３乗） 吸気口径(mm)：Rc1/8 電源(V)：単相100 全幅(mm)：91 全長(mm)：163 全高(mm)：100.6 電源コード長さ(m)：2 |
|---|---|
| 材質 | - |
| 質量・質量単位 | 1.9ｋｇ |
| 使用条件 | 使用雰囲気温度範囲：0℃～40℃ |
| 注意事項 | ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。 吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。 |
