真空炉是一种在真空环境中进行加热处理的设备,广泛应用于工业领域的多种材料处理。
真空炉的主要特点包括:
可以在没有氧气的情况下进行热处理,避免材料的氧化、烧损或其他化学反应。 分为辐射加热真空炉和电阻加热真空炉两种类型,前者使用电加热器或电子束加热器作为热源,后者使用电阻丝或电阻环来加热工件。 广泛应用于金属热处理、玻璃制造、半导体制造等领域,能够控制加热温度和保持恒定的压力,确保材料在优化的工艺条件下进行处理。 内部结构通常由高温材料构成,如石英、金属合金等,以保证其能够耐受高温环境。 具有快速升温和冷却的能力,提高生产效率。