智能气体配比器

PC在线气体配比器,主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境,控制方式采用数字控制 精度高 抗干扰能力强 根据客户要求随意修改气体。

该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用CS200或CS100质量流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强,阀门采用高压球阀做截止阀,气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。

1. 半导体制造行业中气体流量控制

2. 各种真空镀膜设备;

3. 特种材料表面处理

4. 气体燃烧控制

5. 混合配气系统

6. 泄漏探测系统

7. 环境检测与分析设备

8. 分析仪器的气体流量计量与控制

9. 化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所。

气体通道

2进1出(KT-C2ZS)

3进1出(KT-C3ZS)

4进1出(KT-C4ZS)

可根据需求定制

产品类型

高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制

可选量程

20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选)

产品精度

高精度型±1%F.S     普通型±1%F.S 

重复精度

高精度型±0.2% F.S   普通型±0.2% F.S

线性

高精度型±0.5% F.S.   普通型±1% F.S.

响应时间

高精度型≤1sec     普通型≤2sec

工作温度范围

(5~45)°C

供电电源

~85-265VAC 50/60Hz

功耗

40W

进气口压

≤0.6MPa

连接管道

316不锈钢管道

截止阀类型

电磁阀

单向阀开启压力

0.02Mpa

压力显示量程

0-0.6Mpa

控制方式

7寸触摸屏智能调节

时间设定

0-32000分钟

清洗功能

一键清洗

程序控制

5段可编程序(时间-流量随意设定值)

压力显示

不锈铡机械压力表

气体混合罐

有(内置不锈钢扰流板气体混合均匀)

流量累计

有(累计当前运行总流量)

可选进出气口接头形式

3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头

抗电磁干扰

外形尺寸

约500x380x380mm

重量

18KG~20KG

智能气体配比器

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