镀膜机是一种用于在物体表面覆盖一层薄膜的设备,广泛应用于物理学、化学、机械工程等多个领域。镀膜机通过在真空条件下,采用等离子技术,制备纯度高的金属膜、化合物膜等,适用于半导体、显示技术、光伏产业、工具镀膜、装饰镀膜、功能镀膜等多种应用场景。镀膜机的主要组成部分包括真空腔室、蒸发源、基片台、真空泵系统等,通过控制蒸发源的温度和基片的位置,可以在基片上形成所需的薄膜。
镀膜机的工作原理主要涉及两种技术:蒸发镀膜和溅射镀膜。蒸发镀膜是通过加热靶材使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并沉积在基片表面形成薄膜。溅射镀膜则是利用电子或高能激光轰击靶材,使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并最终沉积在基片表面形成薄膜。这两种技术都能在基片上形成均匀、致密的薄膜,具有优异的附着力和良好的光学、电学性能。