离子清洗机KT-S2DQX,用于表面清洗,活化,刻蚀等离子清洗机电源属于150W 13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备,主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
该等离子清洗机KT-S2DQX,用于表面清洗,活化,刻蚀清洗机内置高纯石英仓体,容积为2升。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术,使其有效容积增大,不同真空 气体环境下容易匹配,且控制频率稳定。真空仓门有观察窗,可直观物体的处理过程,其射频电源与控制都组装在一个机箱内,即减少了空间的占用,更便于操作和放置,同时与大型清洗机相比较,从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作,特别适用科学实验 样品清洗 和教学。
供电电源 |
AC220V(AC110V可选) |
工作电流 |
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
射频电源功率 |
150W |
射频频率 |
13.56MHz |
频率偏移量 |
<0.2MHz |
特性阻抗 |
50欧姆,手动匹配 |
耦合方式 |
电容耦合 |
真空度 |
≤100Pa |
腔体材质 |
高纯石英 |
腔体容积 |
2L(内径110MMX深度220MM) |
观察窗内径 |
Φ65 |