实力源多弧+中频磁控溅射镀膜机:内腔直径1680*高度1200,主抽配置3台400中科仪分子泵+1台翠曼600罗次泵+2台70南光机械泵,辅抽配置一台翠曼300罗次泵+1台70南光机械泵,配置10个佳宁250A弧电源,单边装有5个弧靶,对边预留5个弧靶位,,配置4对中频圆柱溅射靶,可装10对,配置30KW众鑫达中频电源和30Kw偏压电源,配置4路美国AE流量计,炉内配加热器,可达300℃,下转架28杆,杆距160mm全自动控制系统电柜
实力源多弧+中频磁控溅射镀膜机:内腔直径1680*高度1200,主抽配置3台400中科仪分子泵+1台翠曼600罗次泵+2台70南光机械泵,辅抽配置一台翠曼300罗次泵+1台70南光机械泵,配置10个佳宁250A弧电源,单边装有5个弧靶,对边预留5个弧靶位,,配置4对中频圆柱溅射靶,可装10对,配置30KW众鑫达中频电源和30Kw偏压电源,配置4路美国AE流量计,炉内配加热器,可达300℃,下转架28杆,杆距160mm全自动控制系统电柜
联系我时请说明来自志趣网,谢谢!