VYPER 系列激光器是专为准分子激光退火 (ELA) 设计的多光束高功率准分子激光器。高分辨率移动显示器制造的高质量需求需要高品位低温多晶硅 (LTPS),该多晶硅 (LTPS) 只能使用准分子激光器制造。
这些激光器非常适合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光学器件。
性能特点
非常高的UV 功率,可实现高通量应用 能量稳定性,确保高产量 EquiSwitch 同步提供低的抖动 激光数据采集可实现过程控制 密封和净化的光束路径,可实现稳定的长期运行 用于控制和快速数据采集的以太网接口