六甲基二硅氮烷，英文缩写HMDS，一种重要的有机硅化合物，最常用来增加光刻胶在品圆表面附着力的底漆层，易燃且燃点为6.7℃，当在空气中的浓度为0.8%-16%时具有爆炸性，HMDS会强烈地与水、酒精和矿物质酸反应释放出氨水NH3，生成六甲基二硅醚。
在催化剂存在下，与醇或酚反应，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。与无水氯化氢反应，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。
光刻胶应用六甲基二硅氮烷(HMDS)底涂通常在应用光刻胶之前使用。HMDS作为光刻胶粘合促进剂的用途。
UN编号：3286
危险性类别（主）：3
危险性类别（次）：6.1+8
包装类别：Ⅱ
EmS No.：F-E，S-C
正确运输名称（中文）：易燃液体，毒性，腐蚀性，未另作规定的
正确运输名称（英文）：FLAMMABLE LIQUID, TOXIC,CORROSIVE, N.O.S.
HS CODE：2931900090 出口监管条件：B （出口需要提供商检） 出口退税率:13%
六甲基二硅烷胺属于危险化学品目录产品。
