用途:在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器作的保护气。高纯氮在清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。
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