质量流量计智能气体配比器，可选配七星各种系列流量计，触摸屏控制调节不同时间不同流量气体，操控简单，
CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品，该产品在原有CS200气体质量流上，采用了基于DF的压力信号补小偿算法，全量控制器的基础新的金属表面处理工艺，产品各项技术指标均严格按照SEM标准，支持Ⅵ型，C型GS气路系统。
准确度采用设定点精度，产品精度可达±1.0% S.P.，响应时间最快≤ 0.5sec。
CS300系列产品可带有压力补偿功能，对前段气体压力的扰动进行有效的补偿，减少压力变化对瞬时流量影响，从而保证产品工作的稳定性和准确性。
质量流量计智能气体配比器
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产品型号 |
KT-PCS4Z |
KT-C4ZS |
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气体通道 |
4进1出 |
4进1出 |
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可根据需求定制 |
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产品类型 |
高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 |
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可选量程 |
20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) |
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产品精度 |
高精度型±1％F.S |
普通型±1％F.S |
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重复精度 |
高精度型±0.2% F.S |
普通型±0.2% F.S |
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线性 |
高精度型±0.5% F.S. |
普通型±1% F.S. |
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响应时间 |
高精度型≤2sec |
普通型≤4sec |
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工作温度范围 |
(5~45)°C |
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供电电源 |
~85-265VAC 50/60Hz |
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功耗 |
40W |
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进气口压 |
≤0.6MPa |
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连接管道 |
316不锈钢管道 |
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截止阀类型 |
电磁阀 |
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单向阀开启压力 |
0.02Mpa |
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压力显示量程 |
0-0.6Mpa |
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控制方式 |
7寸触摸屏智能调节 |
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时间设定 |
0-32000分钟 |
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清洗功能 |
一键清洗 |
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程序控制 |
5段可编程序(时间-流量随意设定值) |
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压力显示 |
有（出气压力检测且有压力上限设置过压切断总输出气路） |
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气体混合罐 |
有（内置不锈钢扰流板气体混合均匀） |
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气体加热 |
无（可选配气体混合罐加热，加热温度室温至350℃可调） |
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流量累计 |
有（累计当前运行总流量） |
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可选进出气口接头形式 |
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 |
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抗电磁干扰 |
有 |
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外形尺寸 |
550x380x400mm |
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重量 |
18KG～20KG |
