德国MUNK电源维修主要系列：ΡKA2，DCAC100，AS100，HS100，ESA2000， HSG2000，E230 G60/45；E230 G100，D400 G100全系列型号。
常见维修型号包括：D400 G100/75WRG-TFMYCT14；MUNK GmbH D400 G100/100 WRG-TFMYCT14；MUNK GmbH D400 G100/50 WRG-TFMYCT；E230 G60/45 WRG-TFMYCT24等。
对于单靶或者单弧源来说，可以进行直流和单HiPIMS高能脉冲、直流和单脉冲以及单脉冲和单HiPIMS高能脉冲叠加，实现共溅射的功能。直流和单HiPIMS高能脉冲叠加。
对于双靶来说，可以进行更多种的叠加，比如双脉冲和双HiPIMS高能脉冲、单脉冲和双HiPIMS高能脉冲(Bias偏压同步)、双HiPIMS高能脉冲/双脉冲和单脉冲(Bias偏压同步)、单HiPIMS高能脉冲/双脉冲和单脉冲(Bias偏压同步)、双HiPIMS高能脉冲和RF(Bias偏压同步)以及单HiPIMS高能脉冲和RF(Bias偏压同步)叠加等。
激光电源维修常见故障情况诊断：
高压打火,高压线接头处太靠近铁壳部分。
无光,风扇不转。保险丝断。
可以强制发光,不能主板控制发光。前级低压控制部分坏。
