广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510，均匀性高的电极构造，操作简单的触摸屏控制器，适用于研究开发的小型等离子清洗机。
仪器特点：
DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）。
RIE模式。
均匀性高的电极构造。
操作简单的触摸屏控制器。
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型号 |
PDC200 |
PDC210 |
PDC510 |
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等离子模式 |
RIE（DP模式选配） |
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电极构造 |
平行平板（固定） |
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高频输出 |
Max300W |
Max500W |
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频率 |
13.56MHz |
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反应腔尺寸 |
W400xD250Lx150mm |
W500xD300Lx200mm |
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电极尺寸 |
W250xD170mm |
W400xD200mm |
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反应室材质 |
2系统（Ar、O2） |
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填充气体 |
N2或干燥空气 |
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反应气体流量控制 |
流量计 |
聚合控制器 |
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真空泵 |
另行选配 |
油泵（约345L/分）标配 |
油泵（500L/分）标配 |
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气体导入口 |
反应气体2个、填充气体1个 |
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外形尺寸 |
W540xD600xH600mm |
W540xD600xH600mm |
W700xD700xH1285mm |
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重量 |
约100KG |
约105KG |
约180KG |
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电源 |
单相AC100V 10A |
三相AC200V 6A |
三相AC200V 8A |
雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于等离子清洗机的信息，欢迎来电咨询。
