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雅马拓YAMATO等离子清洗机等离子表面处理仪

  • 发布时间:2023-12-20 17:05:37,加入时间:2023年02月16日(距今637天)
  • 地址:中国»广东»广州:广州市天河区广汕二路13号-327-1房
  • 公司:广州金程科学仪器有限公司, 用户等级:普通会员 已认证
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广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS,13.56MHz高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP 双模式。硅晶圆的灰化及蚀刻、基板表面污垢处理、IC/LED封装、BGA/CSP基板处理、半导体相关部品的电子材料的干式清洗、自然氧化膜·有机物去除、界面活性处理、表面污染物去除。

等离子清洗机特点:

硅晶圆的灰化及蚀刻。

基板表面污垢处理。

IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。

半导体相关部品的电子材料的干式清洗。

自然氧化膜·有机物去除。

界面活性处理。

表面污染物去除。

等离子清洗机技术参数:

型号

V1000

V1000X

V1000XS

等离子模式

DP/RIE

高频电源

13.56MHz

输出功率

Max1000W

Max1000&1500W

有效电极尺寸

W280xD280mm

W300xD300mm

W400xD375mm

电极

平行平板

2段电极(独立)

平板(多目的)

反应气体

聚合控制器2系统(填充气路另行安装)

真空泵(标配)

约1000L/min

约1500L/min

1000&1500L/min

安全装置

门检测开关、连锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等

雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于等离子清洗机的信息,欢迎来电咨询。

雅马拓YAMATO等离子清洗机等离子表面处理仪

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