YUTAKA高纯度半导体压力调节器
L20 系列 RoHS 指令兼容产品
高压力流率标准
SUS316L，SUS + 哈氏 60 NL/min14.8 MPa0.99 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
L25 系列 RoHS 指令兼容产品
低气压标准流率类型
SUS316L，SUS + 哈氏 20 NL/ min6 MPa0.99 MPa
高纯度半导体制造工艺的精密压力调整仪器打开
L21 系列 RoHS 指令兼容产品
高压力流率标准
SUS316L，SUS + 哈氏 20 NL/min14.8 MPa0.99 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
L26 系列
低气压标准流率类型
