MKS Delta™系列质量流量比控制器划分和控制混合过程气体流量以用户指定的比例内的多个腔室或区域，以优化过程均匀性和可重复性。 Delta™系列流量比控制器具有出色的性能和紧凑的设计，是MKS的新产品，该产品是流动比控制领域的行业领导者。
准确且重复控制流量比以更好地优化过程
数字控制循环对通道设定点的快速响应独立于气体混合
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