激光干涉仪又称为干涉测量装置，是一种利用光的干涉原理来测量物体长度、厚度、形状、折射率等参数的仪器。集光、机、电、计算机等技术于一体，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
中图激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。
技术规格
稳频精度 0.05ppm
动态采集频率 50 kHz
预热时间 ≤ 6分钟
工作温度范围 (0~40)℃
存储温度范围 (-20~70)℃
环境湿度 (0~95)%RH
线性测量距离 (0~80)m (无需远距离线性附件)
线性测量精度 0.5ppm (0~40)℃
角度轴向量程 (0~15)m
角度测量精度 ±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度轴向量程 (0~15)m
平面度测量精度 ±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
直线度轴向量程 短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m
直线度测量精度 短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度轴向量程 短距离(0.1～3.0)m;长距离(1.0～15.0)m
垂直度测量精度 短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事项：
平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组
平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可
短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组
长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组
直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量
功能广
（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；
（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
（6）支持手动或自动进行环境补偿。
软件强
（1）友好的人机界面；
（2）丰富的应用功能模块；
（3）向导式的操作流程；
（4）简洁化的记录管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企业专属模板定制。
