超纯水是用于电子行业和半导体生产制程的高纯度工业用水,是半导体制程工艺所必需的工艺用水,主要应用在硅片晶圆的切片、粗磨、化学蚀平,抛光清洗等工序。对水中的残留离子有非常严苛的指标要求,是超纯水细分领域的珠穆朗玛峰。