晶圆激光切割机

晶圆激光切割机

Wafer Laser Cutting Machine

产品特点：

划片速度快，效率高，成片率高，切割速度150mm/s

非接触式加工，无机械应力，适合切脆性易碎硅晶圆

CCD快速定位功能，实时同轴监视或旁轴监视功能

高精度二维直线运动平台，高精度D D旋转平台

大理石基台，稳定可靠，热变形小

专业操控系统

全中文操作界面，操作直观、简易，界面良好

无需砂轮刀、蓝膜、去离子水等耗材

高可靠性和稳定性

划片质量高，玻璃钝化层无崩裂和微裂纹。

应用领域：

广泛应用于集成电路晶圆、GPP晶圆的划线切割以及T VS晶圆的划线切割。