一、设备名称:
VGT-4000SJH全封式全自动四槽式晶片清洗机
二、设备型号说明:
VGT---“深圳市威固特洗净设备有限公司”公司名称前三字中文 开头字母缩写;
4 --- 整机共4个功能工位;
SJH—用环保洗剂清洗功能及全封闭自动化清洗的标识。
三、概述:
VGT-4000SJH自动清洗机清洗过程由人机界面触摸屏自动控制,设备生产主线由2个上下料工位,1个二氯甲烷洗、2个RO水洗及1个IPA洗组成。其工作原理是利用洗板水、RO水及IPA浸泡冲刷工件表面、使工件表面更干净。工作过程是由操作者将装有工件的清洗工件放在进料工位上,由电脑控制机械臂同时送入各工序段,对工件进行洗板水清洗、两道RO水漂洗、IPA脱水后由出料工位台将清洗工件取出。
四、工艺流程:
清洗流程--上料—1.二氯甲烷洗--2.纯水洗---3.纯水洗--4.IPA脱 水.---下料。
五、全自动单臂机械手设备配置:
单臂机械手系统 |
1 |
1套; |
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机械臂的上、下、左、右移动均采用电动驱动,并由可编程控制器(日本“松下”牌PLC)控制。 |
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3 |
机械臂上、下、左、右移动按清洗工艺要求搬送清洗篮,实现自动清洗全过程 |
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4 |
机械手分自动/手动两种控制方式。机械臂横移采用伺服马达定位(齿轮与齿条传送),程序记忆;机械臂纵移定位采用无接触的接近感应开关,限位采用机械行程开关设槽内清洗篮光电检测系统、承载清洗篮的机械臂停止下行并声光报警提示;感应开关、限位开关均采用日本南韩产进口器件。以上所述,旨在杜绝机械臂误动作而造成压篮现象。 |
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5 |
每个循环后机械手自动归零位。若中途发生异常停机。 |
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设有清洗时间定时器,清洗节拍在3-30分钟内以秒为单位连续可调。 |
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7 |
机械臂设计提升重量能满足30KG的重量。 |
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机械臂横向移动驱动步进马达功率为1*1/4HP,采用雷赛步进电机 。 |
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9 |
机械臂横向提升驱动步进马达功率为1*1/4HP,采用雷赛步进电机 。 |
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机械臂导轨、立柱、挂架等均采用不锈钢材料及铝合金制作。 |
六、全封式全自动四槽式晶片清洗设备的优势特点:
1、使用本设备清洗不仅取代人工手洗,还可以达到人工手洗无法达到的要求,即使是蒸汽清洗、高压水射流也无法满足,但使用超声波清洗机效果更彻底。
2、传统的手工清洗可以说费时费力,而且人为因素的影响还无法保证晶片的清洗质量。而使用超声波清洗机,将物品浸泡多酶清洗液后,直接放入清洗槽内,按比例放入清洗剂,温度、定时设置好,即可自动开始清洗工作。
3、超声波清洗机是一种无污染的设备,整个过程是一种纯物理清洗过程,安全可靠,不产生电磁波及辐射,对人体无害,而且清洗液直接物品进行清洗,消毒和杀菌,消除二次污染。