一、设备简介
NE-PE60F 是一款大型工业用真空等离子处理系统，设备配备大功率、大腔体、密度大、高稳定性，适用于大规模连续生产。设备采用进口品牌高性能1级机械旋片真空泵+2级罗茨泵快速产生超低的真空压强。同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
NE-PE60F 系统功能特点：
耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
不锈钢托盘设计，可调节托盘间距
8K镜面不锈钢腔体， 密封性
13.56射频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果；
直观的触摸屏，过程参数实时监控。
方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
通过联锁门或可移动的板
高精度气体流量监测系统，两路工艺气体配置(氩气、氧气），双路气流控制，比例
可调，采用高精度电子质量流量计(MFC)
二、设备参数
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序号 |
品名 |
配置参数 |
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1 |
设备外形尺寸 |
W903×D963×H1700（mm） |
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2 |
腔体尺寸 |
W400×D450×H370(mm)；316不锈钢材质 |
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3 |
腔体容量 |
66升 |
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4 |
电极板数量 |
7个；(可根据客户要求增减层数) |
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5 |
有效面积+层数 |
L370mm x W370mm / 共6层 |
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6 |
电极固定方式 |
插拔可拆卸 |
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7 |
等离子发生器 |
13.56MHz/500W连续调节 自动阻抗匹配,可连续长时间工作。 |
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8 |
气体流量控制 |
(0～300)ml/min （标况下） MFC质量流量控制 |
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9 |
反应气体 |
2路，（氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体） |
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10 |
工艺气体供气管路 |
Φ6不锈钢钢管+软管 |
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11 |
腔体温度 |
常温 |
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12 |
工作真空度 |
30～150Pa |
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13 |
真空机组 |
无油干泵 |
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真空测定系统 |
英福康 皮拉尼真空硅 测量范围：1.0×105 ～1×10-1 Pa |
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15 |
真空排气系统 |
油雾过滤器 |
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16 |
破真空系统 |
电磁阀+单向阀+消音器 |
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抽真空时间 |
60s以内 |
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18 |
破真空时间 |
≤15s |
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19 |
输入气压检测系统 |
2路气压自动报警 |
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20 |
压缩空气要求 |
0.6~0.8MPa |
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21 |
控制系统 |
7寸人机交互系统 |
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22 |
设备工作节拍 |
单次清洗时间≤8min（清洗时间 6min，具体以实际清洗时间为准） |
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电源 |
AC380V,50/60Hz，三相五线100A |
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整机功率 |
4KW |
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25 |
设备重量（设备主机/真空泵） |
500KG |
