微就是小，纳就是小到纳米级别，应用：CPU、手机CPU、各种微电子芯片（银行卡、公交卡，手机sim卡，耳机里的声音处理芯片，等等，还有U盘等各种基于硅材料的半导体存储设备）制作材料主要是硅，硅材料资源比较丰富，制备工艺成熟；其他应用方向也有用化合物半导体的。
微纳器件一般以微纳光学元件为主 ，基本上以纳米为计算单位的器件都可称为微纳器件。
对于此行业来说，清洗是少不了的一道工序。超声波清洗机就是被广泛运用到了各行各业起到了较好的清洗作用。
而被清洗的产品有大有小、量多量少、简单复杂。其中就需先了解下尺寸大小，对于微纳的清洗也是一样的。威固特VGT-1509FH超声波清洗机的内槽尺寸是L280×W390×H260(mm)，材质选用的是进口SUS316板，δ2.0mm。
此台超声波清洗机的槽体每槽设四面溢流口，溢水槽宽35 mm，各槽皆为独立循环槽，由循环泵将洗剂由储液箱抽出经过滤后再运回清洗槽，即子母槽循环。
储液箱结构的优势则是由隔板分成两腔，分油后的清洁溶液经循环泵重新抽入清洗槽，实现自我循环，提高溶液的利用率，而分离后的油排放到总排管。
VGT-1509FH超声波清洗机的优势还是显而易见的：
1、槽面设齿状溢流结构，纯水由纯水预热箱进入。槽外贴保温棉厚10mm。
2、槽体上部设抽风小孔，将溢出水蒸汽抽走，防止水汽再次附着于提出的产品上。
3、在烘干槽顶部加设FFU系统，有效减少环境对洗净效果的影响。（工件加温后，对灰尘的附着力增强，FFU形成负压可有效减少环境对洗净效果的影响，从而从根本上提高产品合格率）。
4、每个烘干槽配置一套气缸，气缸带动产品一起运动，形成密封盖。
5、篮子的下面放置一支撑结构，以方便风源更加通透作用于工件。
6、在烘干槽正上方的机架顶部设置一个FFU层流送风单元。由上往下吹风形成负压风，致使工件加热后附着物不易粘附。
7、抛动机构：清洗过程中工件作均匀地抛动，可以增加工件与液体的摩擦，有利于表面污垢迅速脱落，提高清洗效果。
