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LT2 2轴纳米位移平台

发布时间：2021-09-07 10:00:00,加入时间:2021年08月06日(距今1196天)
地址:中国»吉林»长春:长春市高新技术开发区锦河街155号，中国·吉林东北
公司:长春市海洋光电有限公司, 用户等级:普通会员已认证
联系：杨,手机:13944855190

	LT2.100	LT2.200	LT2.300
运动范围XY（µm）	100	200	300
分辨率XY（nm）	0,1	0,2	0,3
典型的噪声基准 XY（nm）	0,01	0,02	0,03
全方位的重复性XY（nm）	0,2	0,4	0,6
线性化（典型的）	0,02%	0,02%	0,02%
谐振频率X / Y（Hz）	500/400	400/350	300/250
刚度 (N/µm)	0,6/0,5	0,5/0,4	0,4/0,3
最da负载（kg）-水平使用	1	1	1
最da负载（kg）-垂直使用	0,5	0,5	0,5
传感器	Silicon HR sensor	Silicon HR sensor	Silicon HR sensor
尺寸W x L x H (mm)	155,5 x 152,5 x 15,5	155,5 x 152,5 x 15,5	155,5 x 152,5 x 15,5
材料	Al or Invar	Al	Al
电缆长度（m）	2	2	2
推jian控制器	Standard	Standard	Standard

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