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LFHS2 双轴纳米位移平台

  • 发布时间：2021-09-07 09:59:05,加入时间:2021年08月06日(距今1312天)
  • 地址:中国»吉林»长春:长春市高新技术开发区锦河街155号，中国·吉林东北
  • 公司:长春市海洋光电有限公司, 用户等级:普通会员 已认证
  • 联系：杨,手机:13944855190
 

LFHS2

运动范围XY（µm）

75

分辨率XY（nm）

0,075

典型的噪声基准 XY（nm）

0,0075

全方位的重复性XY（nm）

0,15

线性化（典型的）

0,02%

谐振频率X / Y（Hz）

3000/2000

刚度 (N/µm)

4/3

最da负载（kg）-水平使用

1

最da负载（kg）-垂直使用

0,5

传感器

Silicon HR sensor

尺寸W x L x H (mm)

120,8 x 120,7 x 28,5

材料

Al

电缆长度（m）

2

推jian控制器

High Speed

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