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LFHS3 3轴纳米位移平台

发布时间：2021-09-02 14:37:36,加入时间:2021年08月06日(距今1196天)
地址:中国»吉林»长春:长春市高新技术开发区锦河街155号，中国·吉林东北
公司:长春市海洋光电有限公司, 用户等级:普通会员已认证
联系：杨,手机:13944855190

	LFHS3
运动范围XYZ（µm）	75	75	50
分辨率XYZ（nm）	0,075	0,075	0,05
典型的噪声基准XYZ（nm）	0,0075	0,0075	0,005
全方位的重复性XYZ（nm）	0,15	0,15	0,1
线性化（典型的）	0,02%	0,02%	0,02%
谐振频率X / Y / Z（赫兹）	3000	2000	1500
刚度 X/Y/Z (N/µm)	4	3	3
最*负载（kg）-水平使用	1
最*负载（kg）-垂直使用	0,5
传感器	Silicon HR sensor
尺寸W x L x H (mm)	140 x 121 x 33,6
材料	Al
电缆长度（m）	2
推*控制器	High Speed

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