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CUBE3 3轴纳米位移平台

发布时间：2021-09-02 14:36:45,加入时间:2021年08月06日(距今1312天)
地址:中国»吉林»长春:长春市高新技术开发区锦河街155号，中国·吉林东北
公司:长春市海洋光电有限公司, 用户等级:普通会员已认证
联系：杨,手机:13944855190

	CUBE3.100	CUBE3.200
运动范围XYZ（µm）	100	200
分辨率XYZ（nm）	0,1	0,2
典型的噪声基准XYZ（nm）	0,01	0,02
全方位的重复性XYZ（nm）	0,2	0,4
线性化（典型的）	0,02%	0,02%
谐振频率X / Y / Z（赫兹）	200/200/500	200/200/500
刚度 X/Y/Z (N/µm)	0,3/0,3/0,6	0,3/0,3/0,6
最*负载（kg）-水平使用	0,5	0,5
最*负载（kg）-垂直使用	0,1	0,1
传感器	Silicon HR sensor	Silicon HR sensor
尺寸W x L x H (mm)	63,5 x 63,5 x 52,45	63,5 x 63,5 x 52,45
材料	Al	Al
电缆长度（m）	2	2
推*控制器	Standard	Standard

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