水准仪是在17～18世纪创造发明了望远镜和水准器后出現的。20世纪初，在制成内对焦望远镜和合乎水准器的基本上生产制造出微倾水准仪。二十世纪50年代初出現了全自动文安水准仪；六十年代研发出激光器水准仪；90年代出現电子水准仪或数字水准仪。
电子水准仪又被称为数字水准仪，它是在全自动文安水准仪的基本上发展趋势起來的。它选用条形码尺标，各生产厂家尺标编号的条形码图案设计不同样，不可以交换应用。二零一三年前照准尺标和对焦仍需看着开展。人力进行照准和对焦以后，尺标条形码一方面被显像在望远镜分裂板上，供看着观察，另一方面根据望远镜的分光镜，尺标条形码又被显像在光电开关（又被称为探测仪）上，即线阵CCD元器件上，供电子器件读数。因而，假如应用传统式水平尺标，电子器件水准仪又可以像一般全自动文安水准仪一样应用。但是这时候的测量精度小于电子器件精确测量的精密度。尤其是高精密电子器件水准仪，因为沒有电子光学测微器，当做一般全自动文安水准仪应用时，其精密度更低,需按时校正水准仪的精密度，对其开展仪器校正、仪器校验、计量检定、仪器外校。
水准仪的应用包含：水准仪的安装 、粗平、看准、精平、读数五个流程。
1. 安装 安装 是将仪器设备安裝在能够 伸缩式的三脚架上并放置两观测站中间。 开启三脚架并使高宽比适度，用目估法使架头大概水准并查验三角架是不是坚固，随后开启仪器箱，用联接螺旋将水准仪器联接在三脚架上。
2. 粗平 粗平是使仪器设备的视线粗略地水准，运用脚螺旋置圆水平汽泡处于圆指标值圈当中。具体做法：用仪器设备训练。在平整全过程中，汽泡挪动的方位与拇指健身运动的方位一致。
3. 看准 看准是用望远镜精确地看准总体目标。 把望远镜对向远方光亮的情况，旋转目镜对焦螺旋，使十字丝最清楚。再松掉固定不动螺旋，转动望远镜，使照门和准心的联接指向水准尺，扭紧固定不动螺旋。最终旋转物镜对光线螺旋，使水准尺的清楚地落在十字丝平面图上，再旋转轴体螺旋，使水准尺的像靠于十字竖丝的一侧。
4. 精平 精平是使望远镜的视线精准水准。微倾水准仪，在水平管上端配有一组三棱镜，可将水平管汽泡两边，映射到镜管旁的合乎水平视窗内，若汽泡垂直居中时，汽泡两边的像将合乎成一双曲线型，表明视线水准。若汽泡两边的像不相一致，表明视线不水准。这时候能用左手旋转 微倾螺旋使汽泡两边的像符合实际，仪器设备便可出示一条水准视线，以考虑水准测量基本概念的规定。留意：汽泡左半一部分的挪动方位，总与左手拇指的方位不一致。
5. 读数 用十字丝，截读水准尺上的读数。水准仪多是反像望远镜，读数时要自上而下开展。先估读mm级读数，后给出所有读数。留意，水准仪应用流程一定要按上边次序开展，不可以错乱，尤其是读数前的合乎小水泡调节， 一定要在读数前开展。
仪器计量、仪器校准、仪器校验、仪器检测。
