品牌:gypex英鹏
型号:zk-固化系列
价格:电议/面议
产品用途:
本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对pspi这一种新型工程高分子材料固化的设备,烘箱温度可达450℃
性能特点:
1.真空度可达10 pa
2.精体内氧含量:≤20ppm,提供氧含量检测接口
3.日本优易控触摸屏,升降温斜率控制
4.内腔采用耐腐蚀sus316不锈钢材质制作
内箱尺寸:h*w*d*30*60
控温范围 : rt+20℃~450℃
温度波动 : ±0.5℃
真空度 : 10pa
氧含量 : ≤20ppm
内箱材质 : sus316不锈钢 stainless steel plate
外箱材质: 钢板静电喷涂表面处理 baked painting steel
保温材料 : 硅酸铝纤维棉 aluminum silicate fiber cotton
保护装置 : 声光报警器 超温保护器 audible&visual alarm, over temp
功率nbsp;