利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有极强的清除效果。利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的。
可以裂解恶臭气体有：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子键，使呈游离状态的污染物分子与臭氧氧化结合成小分子无害或低害的化合物，如CO2、H2O等。
当废气进入吸附箱后，进入活性炭吸附层，由于活性炭吸附层表面上存在着未平衡和未饱和的分子引力或化学键力，因此当活性炭吸附层表面于气体接触时，就能吸引气体分子，使其农汇聚并保持在活性炭表面，此现象就是吸附。利用活性炭吸附层表面的吸附能力，使废气与多孔性活性炭吸附层相接触，废气的污染物被吸附在活性炭表面上，使其于气体混合物分离，净化后气体高空排放。
通过初级过滤箱+UV光氧+活性炭吸附工艺进行多级处理的方式能够有效地提高废气处理效率，这样既避免了UV光氧催化技术对有些气体成分不能分解的问题，也解决了活性炭不耐高温，在湿润的条件下不能保持很好的吸附能力的问题。
