美国吉时利KEITHLEY高阻表6517B静电计系统特点 电阻测量可达1016Ω 电流测量范围1fA-20mA zui小电流量程输入压降<20μV 200TΩ输入阻抗 <3fA偏置电流 高达425rdgs/s 噪声0.75fA p-p 内置±1kV电源 独特的高电阻测量电压反接方法 可选的插件式扫描卡