机械泵中的返油简单说就是油封机械泵油流向了高真空端的一种现象，这种情况在真空系统粗抽时（真空度低于130Pa）不会出现。因为在这个真空度下，真空管道中的气流属于定向黏滞流。但是当随着真空度的提高，泵入口管道中的压力降低，气流会由定向黏滞流逐渐转变为自由分子流。这时候油蒸气分子的平均自由程不断增大，分子间的碰撞次数不断减少，就有机会通过粗抽管道进入到真空室中，污染真空系统。
更具体的影响因素上，油封机械泵的返油率与真空泵的大小、工作温度、旋片的线速度等因素有关。总的来说，真空泵越大返油率越高；旋片的速度越高返油率越高；泵的工作温度越高，油蒸气的返流也越严重。油封机械泵的工作过程中，油不仅用来润滑，同时还起到密封的作用。因为工作原理的关系，像旋片泵等在工作中，金属旋片会与泵腔内壁不断摩擦会产生局部过热，使旋片连续划破油润滑膜，导致泵油发生单纯性的热分解或热金属作触媒的分解，也就是裂解；泵油裂解后成为轻馏分的油蒸气，这种油蒸气分子量小，易反扩散，就更容易跑到高真空端。
如果油封机械泵与油扩散泵组成真空系统，机械泵返油不仅影响扩散泵的极限真空，同时还会增加扩散泵的返油。
现在在一些领域，对于清洁真空的要求越来越普遍，因此在运用油封泵的过程中，如何减少返油也愈加受到重视。为此，除了采用干式真空泵等清洁泵种外，也可以通过采用特殊泵油或增加捕集阱等方式来获取清洁真空。更多的，螺杆真空泵厂家下次单独来和大家谈谈关于如何来减少油封机械泵的返油的问题。
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